它是利用了石英晶体的压电效应:在一般情况下,晶片机械振动的振幅和交变电场的振幅非常微小,镀金晶片厂商,但当外加交变电压的频率为某一特定值时,振幅明显加大,这种现象称为压电谐振。 它其实与 lc 振荡电路的谐振现象十分相似:当晶体不振动时,镀金晶片,可把它看成一个平板电容器称为静电电容 c,一般约几个皮法到几十皮法;当晶体振荡时,机械振动的惯性可用电感 l 来等效,一般值为几十毫亨利到几百毫亨利。由此就构成了石英晶体微天平的振荡器,电路的振荡频率等于石英晶体振荡片的谐振频率,再通过主机将测得的谐振频率收集并转化为电信号输出。由于晶片本身的谐振频率基本上只与晶片的切割方式、几何形状、尺寸有关,而且可以做得准确,因此利用石英谐振器组成的振荡电路可获得---的频率稳定度。
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mems 即微机电系统(microelectro mechanical systems),是 mems 传感器在微电子技术基础上发展起来的多学科交叉的研究领域。经过四十多年的发展,已成为瞩目的重大科技领域之一。它涉及电子、机械、材料、物理学、化学、生物学、医学等多种学科与技术,具有广阔的应用前景。
mems 传感器是采用微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器。与传统的传感器相比,镀金晶片品牌,它具有体积小、重量轻、成本低、功耗低、---性高、适于批量化生产、易于集成和实现智能化的特点。
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qcm 一般采用 at 切压电的石英晶体, 因为它的温度系数在室温时为零。在薄压电晶体板片表面各有一金属电极(au 或 pt 沉积在压电晶片的上表面和下表面) ,并与共振电路相连,在晶体板上施加一共振电场时就产生了声波。厚度是这类器件中频率变化的决定因素 。当 qcm 表面有物---化时(增加或减少)都可导致器件厚度的变化,进而引起共振频率的变化。
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