qcm 一般采用 at 切压电的石英晶体, 因为它的温度系数在室温时为零。在薄压电晶体板片表面各有一金属电极(au 或 pt 沉积在压电晶片的上表面和下表面) ,并与共振电路相连,koan晶体型号,在晶体板上施加一共振电场时就产生了声波。厚度是这类器件中频率变化的决定因素 。当 qcm 表面有物---化时(增加或减少)都可导致器件厚度的变化,进而引起共振频率的变化。
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1、qcm石英微天平应用广泛,例如生物技术、气体传感器,dna和rna的相互作用, 表面活性剂的效果,电镀技术,在线监测润滑剂和石油性能,空气污染物监测等。
2、koan现有以下系列qcm晶体提供,根据应用不同大致分为膜厚监测用和传感器用两大类。标称频率从1mhz~14mhz;晶片直径7.9mm~25.4mm。
3、 qcm晶体通常使用的是at切割,koan晶体品牌,利用晶体材料的压电效应,当电极表面上的附加增加,振荡频率会降低。
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mems 即微机电系统(microelectro mechanical systems),是 mems 传感器在微电子技术基础上发展起来的多学科交叉的研究领域。经过四十多年的发展,koan晶体,已成为瞩目的重大科技领域之一。它涉及电子、机械、材料、物理学、化学、生物学、医学等多种学科与技术,具有广阔的应用前景。
mems 传感器是采用微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器。与传统的传感器相比,它具有体积小、重量轻、成本低、功耗低、---性高、适于批量化生产、易于集成和实现智能化的特点。
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